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滿足電子工業(yè)高標(biāo)準(zhǔn)用水的紫外TOC去除器

滿足電子工業(yè)高標(biāo)準(zhǔn)用水的紫外TOC去除器
超純水作為電子工業(yè)生產(chǎn)中的關(guān)鍵基礎(chǔ)材料,其質(zhì)量直接決定了產(chǎn)品的性能、良率以及可靠性。其中,總有機(jī)碳(TOC)含量是衡量超純水品質(zhì)的核心指標(biāo)之一,哪怕是極微量的有機(jī)碳雜質(zhì),都可能在電子生產(chǎn)過(guò)程中引發(fā)嚴(yán)重問(wèn)題,如影響芯片光刻精度、導(dǎo)致電子元器件短路或性能衰退等。

  • 產(chǎn)品型號(hào):GY-TOC-5
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2025-04-15
  • 訪  問(wèn)  量:236
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滿足電子工業(yè)高標(biāo)準(zhǔn)用水的紫外TOC去除器

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紫外 TOC 去除器的工作原理  1-5-3-6-9-1-8-7-1-0-6

紫外 TOC 去除器主要利用特定波長(zhǎng)紫外線的光化學(xué)作用來(lái)實(shí)現(xiàn)對(duì)水中有機(jī)碳的高效降解。其核心原理基于 185nm 波長(zhǎng)的紫外線。當(dāng)含有機(jī)碳的水通過(guò)紫外 TOC 去除器時(shí),185nm 紫外線光子具有足夠的能量與水分子發(fā)生作用,促使水分子發(fā)生均裂反應(yīng)。水分子在紫外線能量作用下,分解產(chǎn)生活性的中間體,包括羥基自由基(?OH)、氫原子(H?)和水合電子(eaq)。這些活性中間體具有的氧化性和反應(yīng)活性,水中的有機(jī)碳(TOC)遇到它們后,會(huì)迅速發(fā)生一系列化學(xué)反應(yīng),如親電反應(yīng)、親核反應(yīng)以及電子轉(zhuǎn)移反應(yīng)。在這些反應(yīng)過(guò)程中,有機(jī)物分子的化學(xué)鍵被逐步打破,復(fù)雜的有機(jī)結(jié)構(gòu)被分解為簡(jiǎn)單的無(wú)機(jī)物,最終絕大部分有機(jī)物被氧化轉(zhuǎn)化為二氧化碳(CO?)和水(H?O)。同時(shí),部分未被礦化的有機(jī)物也會(huì)被轉(zhuǎn)化為相對(duì)分子質(zhì)量較小、更容易被后續(xù)水處理工藝去除的物質(zhì),從而實(shí)現(xiàn)超純水中 TOC 含量的大幅降低,滿足電子工業(yè)對(duì)水質(zhì)的嚴(yán)格要求。此外,一些紫外 TOC 去除器還會(huì)同時(shí)利用 254nm 波長(zhǎng)的紫外線,該波長(zhǎng)紫外線主要用于破壞微生物的 DNA 結(jié)構(gòu),起到殺菌消毒的作用,與 185nm 紫外線協(xié)同工作,在降低 TOC 的同時(shí),保障水質(zhì)的微生物安全性,為電子工業(yè)用水提供的凈化處理。

三、設(shè)備關(guān)鍵組件與設(shè)計(jì)特點(diǎn)

  1. 高性能紫外燈組件:紫外燈是紫外 TOC 去除器的核心部件,為滿足電子工業(yè)對(duì) TOC 去除的高效性和穩(wěn)定性要求,通常選用低壓高輸出或中壓高強(qiáng)度的紫外燈。例如,一些好的紫外 TOC 去除器采用國(guó)際品牌的低壓汞燈,其能穩(wěn)定輸出高強(qiáng)度的 185nm 和 254nm 雙波長(zhǎng)紫外線,且燈管使用壽命長(zhǎng),可達(dá) 12000 小時(shí)以上,減少了頻繁更換燈管對(duì)生產(chǎn)的影響。同時(shí),中壓紫外燈由于其輸出功率高、光譜范圍廣,在處理大流量超純水時(shí)具有優(yōu)勢(shì),可在較短時(shí)間內(nèi)提供足夠的紫外線能量,促使有機(jī)物充分降解。

  2. 高透紫率石英套管:為保證紫外線能夠高效透過(guò)并作用于水中的有機(jī)物,紫外燈通常安裝在石英套管內(nèi)。優(yōu)質(zhì)的石英套管采用高純度的石英材料制成,對(duì) 185nm 紫外線的透過(guò)率可達(dá) 70% 以上,254nm 紫外線透過(guò)率在 90% 以上。例如,部分產(chǎn)品選用太平洋純進(jìn)口原材料石英制作套管,其透紫率高,能有效減少紫外線在傳輸過(guò)程中的衰減,使更多的紫外線能量作用于水體,提高 TOC 降解效率。同時(shí),石英套管具有良好的化學(xué)穩(wěn)定性和耐高溫性能,可適應(yīng)超純水系統(tǒng)中的各種工況條件。

  3. 優(yōu)化設(shè)計(jì)的反應(yīng)腔體:反應(yīng)腔體是水流與紫外線發(fā)生充分反應(yīng)的場(chǎng)所,其設(shè)計(jì)直接影響 TOC 去除效果。一般采用 316L 或 304 不銹鋼材質(zhì)制造,內(nèi)壁進(jìn)行特殊的電解拋光處理,拋光度可達(dá) Ra 0.2,以減少水流阻力,使水流能夠均勻地流過(guò)反應(yīng)區(qū)域,確保每一部分水都能充分接受紫外線照射。此外,反應(yīng)腔體的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)會(huì)根據(jù)不同的處理流量和水質(zhì)要求進(jìn)行優(yōu)化,如采用管式或箱式結(jié)構(gòu),合理設(shè)置水流路徑和紫外線燈管的布局,以提高紫外線的利用效率,實(shí)現(xiàn)對(duì)超純水中 TOC 的高效去除。

  4. 智能控制系統(tǒng):好的紫外 TOC 去除器配備了智能控制系統(tǒng),可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)和調(diào)控設(shè)備的運(yùn)行狀態(tài)。該系統(tǒng)能夠?qū)崟r(shí)監(jiān)測(cè)紫外燈的工作電壓、電流、溫度等參數(shù),確保紫外燈始終處于最佳工作狀態(tài)。同時(shí),通過(guò)在線 TOC 監(jiān)測(cè)儀實(shí)時(shí)反饋水中 TOC 含量,自動(dòng)調(diào)整紫外線的照射劑量。當(dāng)檢測(cè)到 TOC 含量升高時(shí),系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)增加紫外燈的輸出功率或延長(zhǎng)水流在反應(yīng)腔體內(nèi)的停留時(shí)間,以保證出水 TOC 始終穩(wěn)定在電子工業(yè)要求的極低水平。此外,智能控制系統(tǒng)還具備故障診斷和報(bào)警功能,一旦設(shè)備出現(xiàn)異常,如燈管故障、石英套管結(jié)垢等,系統(tǒng)會(huì)立即發(fā)出警報(bào),并采取相應(yīng)的保護(hù)措施,如自動(dòng)關(guān)閉設(shè)備,防止不合格水質(zhì)進(jìn)入生產(chǎn)系統(tǒng),確保電子工業(yè)生產(chǎn)的連續(xù)性和穩(wěn)定性。



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