半導(dǎo)體FAB廠純水站升級(jí)紫外線TOC降解系統(tǒng)

半導(dǎo)體FAB廠純水站升級(jí)紫外線TOC降解系統(tǒng)

一、紫外線 TOC 降解系統(tǒng)的工作原理 1-5-3-6-9-1-8-7--10-6

紫外線 TOC 降解系統(tǒng)主要利用 185nm 波長(zhǎng)的紫外線來(lái)實(shí)現(xiàn)對(duì)水中有機(jī)物的降解。當(dāng) 185nm 紫外線照射到水中時(shí)，首先與水分子發(fā)生作用。高能量的紫外線光子能夠打斷水分子的化學(xué)鍵，促使水發(fā)生均裂反應(yīng)，產(chǎn)生羥基自由基（?OH）、氫原子（H?）和水合電子（eaq）等活性中間體。這些活性中間體具有的氧化性和反應(yīng)活性。水中的有機(jī)物（TOC）遇到這些活性中間體后，會(huì)發(fā)生親電、親核或電子轉(zhuǎn)移反應(yīng)。在一系列復(fù)雜的化學(xué)反應(yīng)過(guò)程中，有機(jī)物分子的化學(xué)鍵被逐步打斷，結(jié)構(gòu)被破壞，最終被氧化分解為二氧化碳（CO?）和水（H?O），從而實(shí)現(xiàn)了 TOC 的高效降解，大幅降低超純水中的有機(jī)物含量，滿(mǎn)足半導(dǎo)體制造對(duì)水質(zhì)的嚴(yán)苛要求。

二、升級(jí)紫外線 TOC 降解系統(tǒng)的優(yōu)勢(shì)

1. 高效降解：能快速有效地將超純水中的有機(jī)物分解，可使 TOC 含量降低至 ppb 級(jí)別甚至更低，顯著提升超純水的純度，極大減少因 TOC 導(dǎo)致的芯片制造缺陷，提高芯片良率。

2. 環(huán)保無(wú)污染：在處理過(guò)程中，僅利用紫外線和水的反應(yīng)來(lái)降解有機(jī)物，無(wú)需添加任何化學(xué)藥劑，既不會(huì)引入新的雜質(zhì)污染水質(zhì)，也不會(huì)產(chǎn)生化學(xué)殘留對(duì)環(huán)境造成危害，符合半導(dǎo)體行業(yè)綠色生產(chǎn)的理念。

3. 穩(wěn)定性強(qiáng)：系統(tǒng)結(jié)構(gòu)相對(duì)簡(jiǎn)單，關(guān)鍵部件如紫外線燈管等技術(shù)成熟，運(yùn)行穩(wěn)定性高。通過(guò)合理的設(shè)備選型和維護(hù)計(jì)劃，可確保長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行，減少設(shè)備故障對(duì)生產(chǎn)的影響，保障純水站持續(xù)供應(yīng)高質(zhì)量超純水。

4. 適配性佳：紫外線 TOC 降解系統(tǒng)可以靈活地與純水站現(xiàn)有的預(yù)處理、反滲透、離子交換等工藝模塊相結(jié)合，形成協(xié)同處理效果。例如，在反滲透前使用紫外線對(duì)原水進(jìn)行預(yù)處理，可降低有機(jī)物對(duì)反滲透膜的污染風(fēng)險(xiǎn)，延長(zhǎng)膜的使用壽命；在離子交換后進(jìn)一步降解殘留的有機(jī)物，確保最終出水的 TOC 達(dá)到極低水平。同時(shí)，該系統(tǒng)可根據(jù)純水站的實(shí)際流量需求和水質(zhì)情況進(jìn)行模塊化設(shè)計(jì)和配置，方便系統(tǒng)的擴(kuò)容和升級(jí)。